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關於四川光刻機的工作原理與性能指標分享

所屬分類:狠狠色丁香婷婷综合尤物    發布時間: 2022-08-16    作者:admin
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四川光刻機是用來製造芯片的,本期小編想給大家簡單說一說四川光刻機的工作原理與性能指標,感興趣的朋友一起來看看吧!

四川光刻機的工作原理

利用光刻機發出的光通過具有圖形的光罩對塗有光刻膠的薄片曝光,光刻膠見光後會發生性質變化,從而使光罩上得圖形複印到薄片上,從而使薄片具有電子線路圖的作用。這就是光刻的作用,類似照相機照相。照相機拍攝的照片是印在底片上,而光刻刻的不是照片,而是電路圖和其他電子元件。

四川光刻機

簡單點來說,光刻機就是放大的單反,光刻機就是將光罩上的設計好集成電路圖形通過光線的曝光印到光感材料上,形成圖形。

四川光刻機的性能指標

光刻機的主要性能指標有:支持基片的尺寸範圍,分辨率、對準精度、曝光方式、光源波長、光強均勻性、生產效率等。分辨率是對光刻工藝加工可以達到的Z細線條精度的一種描述方式。光刻的分辨率受受光源衍射的限製,所以與光源、光刻係統、光刻膠和工藝等各方麵的限製。

對準精度是在多層曝光時層間圖案的定位精度。曝光方式分為接觸接近式、投影式和直寫式。

曝光光源波長分為紫外、深紫外和j紫外區域,光源有汞燈,準分子激光器等。

四川光刻機

以上就是小編整理分享的全部內容了,如果大家對四川光刻機還有其他疑問,歡迎聯係狠狠色丁香婷婷综合尤物或者關注狠狠色丁香婷婷综合尤物官網——成都狠狠色丁香婷婷综合尤物機械設備有限公司

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