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光刻機到底有多難,中國花費17年才能取得突破

所屬分類:行業熱點    發布時間: 2021-04-11    作者:admin
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光刻機是芯片製造重要的設備之一。目前,ASML壟斷了全世界的高 端光刻機。中國一直以來都想掌握光刻機技術,但是上海微電子經過17年的努力,才造出90nm的光刻機,這已經十分不容易了,這可是0的突破。那麽為什麽光刻機這麽難造呢?

首先,光刻機分為光刻機分為前道光刻機、後道光刻機等。前道光刻機就是大家熟知的ASML的光刻機,用於芯片製造。後道光刻機主要用於芯片封裝,上微目前在後道光刻機上已經達到了全球主流技術水準,而前道光刻機,也就是大家所熟悉的ASML光刻機,這才是難度非常的光刻機。2002年,上海微電子裝備公司總經理賀榮明去德國考察時,有工程師告訴他:“給你們全套圖紙,也做不出來。”

賀榮明幾年後理解了這句話。光刻機,被稱為現代光學工業之花,其製造難度之大,堪稱人類智慧集大成的產物。光刻機跟照相機差不多,它的底片,是塗滿光敏膠的矽片。電路圖案經光刻機,縮微投射到底片,蝕刻掉一部分膠,露出矽麵做化學處理。製造芯片,要重複幾十遍這個過程。

位於光刻機中 心的鏡頭,由20多塊鍋底大的鏡片串聯組成。鏡片的高純度透光材料+高質量拋光。SMEE光刻機使用的鏡片,得數萬美元一塊。ASML的鏡片是蔡司技術打底。鏡片材質做到均勻,需幾十年到上百年技術積澱。“同樣一個鏡片,不同工人去磨,光潔度相差十倍。”SMEE總經理賀榮明說,賀榮明在德國看到,拋光鏡片的工人,祖孫三代在同一家公司的同一個職位。

除此之外,光刻機需要體積小,但功率高而穩定的光源。ASML的頂 尖光刻機,使用波長短的極紫外光,光學係統極複雜。有..的鏡頭和光源,沒極致的機械精度,也是白搭。光刻機裏有兩個同步運動的工件台,一個載底片,一個載膠片。兩者需始終同步,誤差在2納米以下。兩個工作台由靜到動,加速度跟導彈發射差不多。SMEE非常的光刻機,包含13個分係統,3萬個機械件,200多個傳感器,每一個都要穩定。這些上微都很難達到。

除此之外,英特爾、三星、台積電等半導體巨頭都會給予ASML資金還要技術支持,像有一年,英特爾、台積電、三星等彼此競爭的三大巨頭,竟聯袂投資ASML41億、8.38億、5.03億歐元。如今,ASML研發經費倍增到每年十三億歐元的規模。多出的一倍,ASML自己出一半,三大半導體巨頭合出另一半。

而技術支持,現任台積電研發副總、世界微影技術權威林本堅,在當時力排眾議,認為將市麵既有的193nm微影透過水折射,效果可較當時被期待接棒的157nm為佳。ASML也迅速呼應台積電,一年後,推出世界第 一台以水為介質的浸潤式微影實驗樣機。該技術大受歡迎,迅速成為業界主流,日本的Nikon與佳能投入巨資研發的157nm微影技術,竟從此被擱置。自此Nikon與佳能再也無法與ASML在高 端光刻機上競爭。

另外,ASML還有很多研發夥伴,包括荷蘭的大學、歐洲研究機構。這樣IMEC可以用很低的價格,拿到ASML.新的機台;而ASML也可以借此提前了解下一代晶片技術的需求,形成了一個良好的合作循環。這些都是上海微電子所不具備的,先不提國外對狠狠色丁香婷婷综合尤物的技術封鎖,就目前狠狠色丁香婷婷综合尤物也無法將設備做到如此精細,而且狠狠色丁香婷婷综合尤物的大學研究機構在半導體領域也偏薄弱,無法提供有效的技術支持。

好了,關於光刻機的知識小編就給大家介紹到這裏了。成都狠狠色丁香婷婷综合尤物機械設備有限公司專業提供在微電子工藝生產方麵使用的多種型號光刻機;在真空釺焊、陶瓷金屬化、燒氫退火工藝等方麵使用的各型真空爐、氫氣爐;在零件真空幹燥(儲存)櫃、真空鍍膜機等設備的設計和製造方麵,公司均有自己獨特的專長。

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